（2)高洁净性：臭氧快速天然分解为氧的特征，是臭氧作消毒灭菌剂的共同长处。臭氧是运用空气中氧气发生的，消毒氧化过程中，剩余氧（O）在30min后又结组成氧分子（O2），不存在任何残留物，处理了消毒剂消毒办法发生的二次污染疑问，一起省去了消毒结束后的再次清洗。
（3 )方便性：臭氧灭菌器一般安装在洁净室或空气净化系统中或灭菌室内（如臭氧灭菌柜、传递窗等）。
（4 )经济性：经过臭氧消毒灭菌在许多制药职业及医疗卫生单位的运用及运转对比，臭氧消毒办法与其他办法相比具有很大的经济效益及社会效益。在当今工业快速发展中，环保疑问格外重要，而臭氧消毒却避免了其他消毒办法发生的二次污染。
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